自动测量金相显微镜是一种结合了金相显微镜的高倍观察能力和影像仪的X、Y、Z轴表面尺寸测量功能的高精度、高效率自动测量仪器。适于芯片、晶圆、光纤、光器件、液晶面板、3D玻璃等，对测量精度要求较高且需自动化批量测量的行业，既可作高倍率观察也可做高精度测量，尤其适于晶圆切割、晶粒粘贴、焊线和外观检测（外引脚的平整性、共面度、脚距）等行业。

主要特点

强大的编程功能，可批量测量。

◎配置操纵手柄，亦可软件程控，完成工作台快速移动。

◎X、Y、Z轴伺服控制，定位精度高、速度快

◎固定式玻璃工作台及大理石平台底座，稳定性好，承载量大，精度高，可测量较大、较重零件而不影响仪器精度。

◎进行高速测量，提高测量效率。

选用高清品牌相机，搭载soptop高端金相系统，整体成像清晰无闪烁，视场开阔。

测量精度在同类设备中最高，视场内精度最高可做到1μm，重复精度最高可达0.5μm。

物镜可切换多种倍率：5X，10X，20X，50X（选配）100X（选配），最高综合倍率最高可达2000倍以上。

○单视野范围内测量精度±1μm，重复精度±0.5μm 加装光谱共焦位移传感器可测高度、深度、平面度，测量精度±1μm。

○可选配超长工作距离APO物镜。

○标配反射和透射LED可程控光源或非程控卤素光源。利用可变孔径光阑，可进行无衍射观察测量。○可根据客户需求，订制各种尺寸工作台，目前******行程可做3000*2000mm，最小行程可做50*50mm工作台。

○可快速释放平台，便于在大工件测里或者多产品测量时快速移动工作台。

○有精调/微调两种模式，便于精确聚焦和观察测量，快速定位焦面。

○显示分辨率最高可做到0.00005mm。

○可根据客户要求加配激光测头，各种规格摄像机以及更高精度光栅等（光尺最高选配0.01μm）。

○自主研发金相量测软件，页面简洁大气，操作方便易上手，更具有自动抓边，编程测量等功能，可适高精度的复杂工件测量。

○测量数据支持读取处理，便于客户建立测量数据管理系统，对接内部ERP系统，从而帮助客户提升制造信息化，智能化水平。