白光干涉仪
产品用途
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微镜与干涉仪,不需要复杂光路调整程序,兼顾体积小、纳米分辨力、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。
产品特点
1.奈米深度3D检测
2.高速/无接触量测
3.表面形状/粗糙度分析
4.非透明/透明材质皆适用
5.非电子束/非雷射的安全量测
6.低维护成本
7.系统硬件搭配lmgscan前处理软件自动解析白光干涉仪条纹
8.垂直高度可达0.1mm
9.高速的分析算法,让您不再苦候测量结果
10.垂直扫描范围的设定轻松以容易
11.有10X、20X、50X、倍率的物镜可供选择
12.平台X、Y、Z、位置数字式显示,使检测目标寻找快速又便利
13.具有手动/自动光强度调整功能以取得******的干涉条纹对比
14.具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择
15.具有专利的解析算法可处理半透明物体的3D形貌
16.具有自动补点功能
17.可自行设定扫描方向
产品参数
1.产品型号:AE-100M
2.移动台(mm):平台尺寸100*100 行程13*13
3.物镜倍率:10倍
4.观察与测量范围(mm):0.43*0.32
5.光学分辨率(um):0.92
6.收光角度(Degrees):7.4
7.传感器分辨率:640*480像素
8.Z轴移动范围(mm):45 手动细调
9.Z轴位置数字显示器:分辨率1um
10.倾斜调整平台:双轴/手动调整
11.高度测量范围(um):100
12.量测分辨率(nm):0.1
13.测量控制:自动
14.扫描速度(um/s):12(最高)
15.光源:卤素冷光源
16.光强度调整:自动/手动
以上参数仅供参考,如需要详细了解请联系客服,以便为您提供更专业的资料以及测量服务